半導體、TFT-為了避免工藝設備冷卻盤管的結垢和堵塞，LCD等行業的工藝冷卻水系統對工藝冷卻水水質提出了要求。
　　以半導體廠工藝冷卻水設計水質為例：電阻率＞30 kΩ? cm硬度＜0.5德國度因此，工藝冷卻水管道的選擇主要考慮兩個方面，一方面是對水質的要求；另一方面，純水設備需要管道腐蝕。
　　工藝冷卻水管道主要有不銹鋼管道和塑料管道。
　　(1)不銹鋼管道
　　根據工藝冷卻水的水質要求，SS304不銹鋼管可滿足要求，但半導體和TFT行業通常采用純水制備過程中產生的反滲透（RO）出水作為工藝冷卻水的補充水源，根據純水制備工藝的不同，RO出水的pH值也不同。當水的pH值為中性或弱堿性時，可使用SS304不銹鋼。當水的pH值為酸時（RO出水通常為酸，無堿），應使用耐酸性好的SS304L不銹鋼。
　　根據不同工程的研究，不銹鋼管道的腐蝕發生在接口和管道底部。分析其主要原因，接口腐蝕主要是由于焊接過程中氬弧焊造成的氧化層損傷，導致氧化層下的不銹鋼金屬鉻合物腐蝕。管道底部腐蝕主要是由于管道沖洗自來水，自來水含有更多余氯，沖洗管道水未及時排空，導致局部管段集水，當管道施工驗收系統長期未投入運行時，容易造成不銹鋼氯腐蝕，不銹鋼氯離子腐蝕為應力腐蝕，在“奧氏體不銹鋼”中-CL溶液中氧的存在促進金屬鈍化，氯離子破壞金屬鈍化，進入裂縫尖端，形成鹽酸，加劇腐蝕。
　　因此，在選擇不銹鋼管道時，應考慮一定的腐蝕余量。至少應選擇壁厚等級為Sch-10S的產品，并采用正確的焊接方法。管道沖洗后，純水設備應清空干燥管道內的水。
　　(2)塑料管
　　PVC管道可根據工藝冷卻水的水質要求滿足要求。常用的PVC有兩種，硬質PVC（PVC-U）由聚乙烯單體聚合而成的熱塑性聚合物化合物；氯化聚氯乙烯（PVC-C）聚氯乙烯樹脂氯化得到的一種獨特的聚合物。由于聚氯乙烯管道具有較強的耐腐蝕性，即使水質為弱酸、弱堿性，也不會引起管道腐蝕。
　　然而，塑料管道應注意工作壓力。由于工藝設備中冷卻管徑小，水頭損失大。因此，工藝冷卻循環水系統的工作壓力較高，管道的壓力等級應根據應力計算確定。需要特別注意的是，管道的壓力等級并不等于管道的設計
　　公式中:P是管道允許的工作壓力（MPa）；
　　d為管道外徑（mm）；
　　E為管道壁厚（mm）；
　　C為設計系數；
　　σ為管道應力（MPa）。
　　以PN16 PVC-以U管為例，管徑110 mm×8.1 mm，管道應力15.5 MPa，設計系數2.5，液體溫度40℃。
　　可見，雖然管道的壓力等級為PN16，但該管道的允許工作壓力為9.86 MPa。